知青回城搞科研[八零] 第99节（2 / 7）
“难不成大家都没遇到什么问题？”
这下子众人瞬间破功，他们哪里是没遇到什么问题，简直就遇到了非常大的问题，还是自己找不准的那种问题，说出来的都是一些大方向，很大概率说出来也是无用的。
李筠却不会这么觉得，看着众人躲闪的眼神，开口道：“有事说事，别把话憋在心里。”
在她逐渐扫视过来的眼神中，众人有人按捺不住，开口道：
“李组长，我总觉得我们是在蚀刻和掺杂的时候出现的问题。自从我们催促张教授那边的团队尽快出更多层次的图纸之后，她们的进度已经完全赶超我们，那么说明电路设计肯定是不存在什么问题的。但是我们自己每一次蚀刻都会产生不一样的效果，只要有一点残余就会造成很大的影响。”
“李师姐我觉得或许是频繁更换掩膜出现的问题，基本上每增加一层结构，我们的掩膜就必须根据需要更换一次，每次曝光图案都是不一样的。这给我们调试光刻机带来了不小的麻烦，或许中间出现了什么变化也说不准。”
“还有我们目前将所有晶体管互连，选用的离子注入是铜，或许我们还需要在这方面下点心思。”
说着说着，大家的思路越来越畅通，也没有了刚开始和李筠开口时吞吞吐吐的模样。
虽然大家都不确定是不是自己负责的环节出现问题，但这种勇于质疑的精神还是值得鼓励的。
“啪啪啪！”
李筠拍拍手打断众人积极的讨论声，夸赞道：“大家现在这个样子不是挺好的吗？我看大家都觉得自己负责的环节有问题，有问题就改正研究，特别是一些关键的地方。
比如说的涂布光阻环节，我们目前采用的光束需要破坏我们不要的光阻材料结构，接着用arf准分子激光在没有光阻保护的进行蚀刻，也就是为我们之后的掺杂做准备。其中我们有……”
她将大家的意见整合之后，说出了自己想要提醒大家的话。
根据李筠的经验，她们目前所使用的光刻机，用来研制最初版本的大哥大完全是足够用的。
也就是说，虽然她敦促秦浩的小团队进行研究，但是她的重心还是放在晶圆多层结构的研究上。
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这下子众人瞬间破功，他们哪里是没遇到什么问题，简直就遇到了非常大的问题，还是自己找不准的那种问题，说出来的都是一些大方向，很大概率说出来也是无用的。
李筠却不会这么觉得，看着众人躲闪的眼神，开口道：“有事说事，别把话憋在心里。”
在她逐渐扫视过来的眼神中，众人有人按捺不住，开口道：
“李组长，我总觉得我们是在蚀刻和掺杂的时候出现的问题。自从我们催促张教授那边的团队尽快出更多层次的图纸之后，她们的进度已经完全赶超我们，那么说明电路设计肯定是不存在什么问题的。但是我们自己每一次蚀刻都会产生不一样的效果，只要有一点残余就会造成很大的影响。”
“李师姐我觉得或许是频繁更换掩膜出现的问题，基本上每增加一层结构，我们的掩膜就必须根据需要更换一次，每次曝光图案都是不一样的。这给我们调试光刻机带来了不小的麻烦，或许中间出现了什么变化也说不准。”
“还有我们目前将所有晶体管互连，选用的离子注入是铜，或许我们还需要在这方面下点心思。”
说着说着，大家的思路越来越畅通，也没有了刚开始和李筠开口时吞吞吐吐的模样。
虽然大家都不确定是不是自己负责的环节出现问题，但这种勇于质疑的精神还是值得鼓励的。
“啪啪啪！”
李筠拍拍手打断众人积极的讨论声，夸赞道：“大家现在这个样子不是挺好的吗？我看大家都觉得自己负责的环节有问题，有问题就改正研究，特别是一些关键的地方。
比如说的涂布光阻环节，我们目前采用的光束需要破坏我们不要的光阻材料结构，接着用arf准分子激光在没有光阻保护的进行蚀刻，也就是为我们之后的掺杂做准备。其中我们有……”
她将大家的意见整合之后，说出了自己想要提醒大家的话。
根据李筠的经验，她们目前所使用的光刻机，用来研制最初版本的大哥大完全是足够用的。
也就是说，虽然她敦促秦浩的小团队进行研究，但是她的重心还是放在晶圆多层结构的研究上。
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